據(jù)晶升股份消息，近日，晶升股份自主研發(fā)的大尺寸CVDSiC化學氣相沉積涂

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據(jù)晶升股份消息，近日，晶升股份自主研發(fā)的大尺寸CVD SiC化學氣相沉積涂層成套設備完成整機出廠檢驗，正式裝車發(fā)運交付客戶，標志著公司在大尺寸碳化硅涂層工藝裝備領域取得重要進展，為半導體熱場關鍵部件的國產(chǎn)化制造提供了有力支撐。